突破低损耗光波导、高质量锗外延、高精度离子注入、双层铝互连以及端面耦合等关键工艺技术，建立国内首套90 nm硅光集成工艺全流程
建立180 nm无源、180 nm有源、90 nm有源系列硅光集成工艺与器件PDK
