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厚硅SOI成套集成工艺
突破高质量厚硅波导制备、高质量Ge/SiGe选择性外延与刻蚀、低损耗端面耦合器研制等关键核心技术
建立低传输损耗、偏振不敏感性、高工艺容差性能厚硅SOI硅光成套集成
