上海工研院的8英寸MEMS平台专注于核心工艺技术的开发和为客户提供产品中试量产服务。平台拥有近5000平方米的洁净室，技术能力兼容CMOS工艺及MEMS特殊工艺，可进行各种产品的研发和小批量生产；可以全面开展表面、体硅以及新工艺、新器件、新系统的研发和中试；可实现产品从研发到中试的无缝衔接；平台已建立完成温度、红外、惯性、压力、声学等多种MEMS智能传感器成套集成工艺和中试量产平台，同时，平台已形成并发布了14套标准化的工艺模块PDK，不断满足新技术开发、成果转化和市场化应用的需求。

MEMS应用场景