上海工研院生物平台已开发完成应用于生物芯片的高密度通孔深硅刻蚀、SU8特色光刻、纳米孔干膜工艺等核心技术与成套集成工艺，并实现CMOS与MEMS集成。已为众多客户，包括行业头部企业在内的客户提供纳米孔基因测序、微流控生物打印、PCR荧光检测、血糖监测等多款生物芯片的研发和中试服务。
